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硅烷 (SiH₄)

Silane · 分子量 32.12 g/mol

基本信息

CAS号:7803-62-5 · 自燃性气体

物理性质

无色气体,恶臭,沸点-112°C。自燃性。半导体工业关键原料。

健康与环境影响

对呼吸道有刺激。自燃特性带来安全风险。

OPSIS 监测方法

OPSIS FTIR-DOAS和TDLAS均可测量。

典型行业应用与相关产品

🏭 行业应用场景

半导体

📦 相关监测产品

AR600/AR650 高浓度DOAS
UV/FTIR-DOAS CEMS | TÜV/MCERTS
LD500 激光分析仪
TDLAS | ppt级痕量气体

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