Sulfur Trioxide · 分子量 80.06 g/mol
三氧化硫在常温下为无色发烟液体或白色固体（取决于晶型），沸点44.8°C，熔点16.8°C（γ型）。遇水剧烈反应生成硫酸并释放大量热，在潮湿空气中形成硫酸酸雾。强氧化性和强腐蚀性。
SO₃与空气中水蒸气反应生成硫酸酸雾（H₂SO₄气溶胶），对呼吸系统有强烈刺激和腐蚀作用，是酸雨的主要成因之一。长期暴露可致慢性支气管炎和肺功能损害。
OPSIS UV-DOAS 可测量 SO₃，通常与 SO₂ 同步监测以评估硫酸生产工艺效率。FTIR-DOAS 在红外波段也可用于 SO₃ 监测。