Hydrogen Fluoride · 分子量 20.01 g/mol
氟化氢为无色气体或发烟液体，沸点19.5°C，熔点-83.6°C。极易溶于水生成氢氟酸。密度0.99 kg/m³。氢氟酸能腐蚀玻璃和硅酸盐材料，需用PTFE或特定合金容器储存。
HF是已知毒性最强的无机酸之一。皮肤接触可穿透组织深层，引起剧痛和深度灼伤，并可能导致致命性低钙血症。吸入可致肺水肿。职业接触限值（中国）：MAC 2 mg/m³。
OPSIS TDLAS 激光技术是 HF 监测的首选方法，具有 ppt 级检出限和高选择性。FTIR-DOAS 也可在红外波段测量 HF。非接触式光学原理避免了 HF 对采样系统的极端腐蚀。