四氟化碳 (CF₄)

Tetrafluoromethane · 分子量 88.00 g/mol

基本信息

CAS号：75-73-0 · GWP: CO₂的6630倍

物理性质

无色无味气体，密度3.72 kg/m³，沸点-128°C。极强温室气体。半导体刻蚀副产物。

健康与环境影响

本身无毒，环境影响极大。

OPSIS 监测方法

OPSIS FTIR-DOAS(AR650)可测量。适合半导体PFC排放监测。

典型行业应用与相关产品

🏭 行业应用场景

半导体碳排放

📦 相关监测产品

AR600/AR650 高浓度DOAS

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